就高質(zhì)量的四探針測試儀來說,其最好選用尖頭鎢針來作為探針,這主要是因為鎢針具有良好的導(dǎo)電性能,能讓電子更好地傳輸。換句話來說,使用鎢針來測量半導(dǎo)體的電阻率的準(zhǔn)確度更高以及測量速度更快。
四探針測試儀是指運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備,其按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計而成的,主要用來測量半導(dǎo)體材料(如硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜以及導(dǎo)電橡膠方塊的電阻等。
從構(gòu)造來看,四探針測試儀是由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成的。測量的數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,也可以由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
為了使四探針測試儀更好地測試半導(dǎo)體的電流與電壓,大多數(shù)的設(shè)備是選用具有高純度和強導(dǎo)電能力等特點的尖頭鎢針來作為探針,這樣一來能使所測的數(shù)據(jù)擁有更高的準(zhǔn)確性。
尖頭鎢針是一種由純鎢(W>99.95%)或者鎢合金(W>98%)制成的產(chǎn)品,外觀結(jié)構(gòu)細長,一端是平面狀,另一端是尖頭。而根據(jù)實際使用情況的不同,鎢針的尺寸規(guī)格也不一樣。正常,鎢針長度在20mm—150mm之間,直徑在0.5mm—10mm之間。
鎢針可以采用拉絲成型工藝來生產(chǎn),即將金屬鎢材料加熱至塑性,再經(jīng)過拉伸到想要的直徑大小,最后經(jīng)過剪切冷卻。