沉積三氧化鎢薄膜SEM檢測(cè)

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無(wú)PS球模板沉積的W03薄膜的SEM照片可以看出所沉積的薄膜比較平整致密，薄膜顆粒均勻，厚度約500nm.XRD結(jié)果顯示薄膜除了ITO玻璃本身具有的峰之外，只有在2B = 26“位置出現(xiàn)一個(gè)寬化峰，表面三氧化鎢薄膜為非晶態(tài)。這與文獻(xiàn)報(bào)道的相一致。

在有PS球模板的ITO玻璃表面，沉積時(shí)間為300s和600s三氧化鎢薄膜的SEM照片如圖3.14所示。對(duì)于沉積時(shí)間為300s的樣品，可以看到具有很整齊的碗狀陣列大孔結(jié)構(gòu)，這些孔以密排六方的方式排列，與文獻(xiàn)報(bào)道相一致。碗狀大孔的直徑約為600 nm，與PS球的直徑一致。將薄膜從ITO玻璃上刮下后的粉末在乙醇中超聲處理，滴在銅網(wǎng)上，用TEM進(jìn)一步表征其微觀結(jié)構(gòu)，如圖3.15所示。選區(qū)電子衍射和高分辨TEM ( HRTEM)照片證實(shí)了薄膜大部分是非晶形態(tài)，但是在HRTEM照片中可以看到一些幾個(gè)納米尺度的小晶體的存在，這說(shuō)明所沉積的三氧化鎢薄膜是一種納米晶鑲嵌在非晶相基體中的復(fù)相結(jié)構(gòu)。這種微弱的結(jié)晶傾向在其他一些新鮮制備的三氧化鎢薄膜中也有所發(fā)現(xiàn)。

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